薄膜材料 : 应力、缺陷的形成和表面演化
作者:
(美)L. B. Freund,(美)S. Suresh著;卢磊等译
ISBN:
9787030134271
出版日期:
2007-01
版次:
1
中图分类号:
TB383
丛书:
附注信息:
本书总结了过去几十年里薄膜材料的研究进展。系统介绍了薄膜应力和基底曲率、各向异性和图形薄膜中的应力、脱层和断裂等诸多问题。

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